已掌握半导体级大直径硅单晶生长设备技术
摘要: 晶盛机电今日在深交所互动易平台表示，作为国家科技重大专项《极大规模集成电路制造设备及成套工艺》之300mm硅单晶直拉生长装备的.晶盛机电今日在深交所互动易平台表示，作为国家科技重大专项《极大规模集成电路制造设备及成套工艺》之“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”课题的TDR130A-ZJS全自动单晶硅生长炉产品的承担单位，公司已掌握半导体级大直径硅单晶生长设备设计、制造的先进技术，并将继续保持国内全自动单晶硅生长炉技术的领先地位。
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